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刻蚀机作为微电子制造过程中的重要设备之一,其作用主要是通过化学或物理作用,在半导体表面刻蚀出微小的凹槽和沟槽,用于制造微电子器件。 刻蚀机的刻蚀过程和传统的雕刻类似,先用光刻技术将图形形状和尺寸制成掩膜,再将掩膜与待加工物料模组装好,将样品置于刻蚀室内,面议2024-08-14 -
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刻蚀机实际上狭义理解就是光刻腐蚀,先通过光刻将光刻胶进行光刻曝光处理,然后通过其它方式实现腐蚀处理掉所需除去的部分。随着微制造工艺的发展;广义上来讲,刻蚀成了通过溶液、反应离子或其它机械方式来剥离、去除材料的一种统称,成为微加工制造的一种普适叫法。 刻面议2024-08-14 -
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一、什么是镀膜机? 镀膜机,顾名思义,就是用于将各种膜材料沉积在基材表面的设备。根据不同的工艺、要求和应用,可以分为多种类型的镀膜机。 二、镀膜机的种类 1.真空镀膜机:主要用于制造光学仪器、电子元件、光学印刷等领域。 2.磁控溅射镀膜机:主要应用于制造硬盘面议2024-08-14
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